装置名
（機種）

（RIGAKU Smart Lab-Pro）

設置年度

平成21年度

装置の概要

薄膜材料構造評価X線回折装置

装置の仕様
・特色

Cuローターターゲット、9kWを光源としている。 試料を水平に設置できる。試料位置のあおり角などを、測定の度ごとに自動で調整する機能を備える。 接合界面の定性分析、深さ方向分析、配向性評価、膜厚、表面/界面粗さ評価が可能である。

設置場所

コラボレーションセンター2階　214　機器分析室６（X線回折測定室）内線8743

管理責任者

機器管理責任者　自然科学研究科（理）　教授　池田　直（内7810）
監守者　自然科学研究科（理）　准教授　村岡祐治（内7903）
　　　　　 分析計測分野　助教　太田弘道（内8747）

利用資格等

放射線業務従事者登録を済ませた者に限る
使用時には必ずクイクセルバッジ（旧称ルクセルバッジ、フィルムバッジ）を必ず着用してください

利用の申請

監守者に連絡し、運転方法などを相談する

利用料金

料金表をご参照ください。