装置名
（機種）

集束イオンビーム加工装置

（日立・FB-2000）

設置年度

平成26年度

装置の概要

きわめて細く集束したGaイオンビームを試料表面で走査することにより、試料表面をナノメートルの精度で加工したり、発生した二次電子などを検出してSIM像を観察したりすることのできる装置です。
　薄膜材料表面の微細加工、特定箇所の断面及び平面TEMおよびSEM試料の作製など、ナノテクノロジー分野の研究に用いることができます。

装置の仕様
・特色

設置場所

コラボレーションセンター2階　208（クリーンルーム）

管理責任者

クリーンルームワーキンググループ
管理責任者
　自然科学研究科（工）林　靖彦（内線　8230）
監守者
　自然科学研究科（理）武安伸幸　（内線　7845）FIB装置 代表
　自然科学研究科（理）後藤秀徳　（内線　7797）電子線描画装置 代表
　自然科学研究科（理）久保園芳博（内線　7850）薄膜X線回折装置 代表
　自然科学研究科（工）林　靖彦　（内線　8230）蒸着装置 代表
　医歯薬学研究科（薬）松浦 宏治 （内線　8966）
　自然科学研究科（工）石川　篤　（内線　8140）

利用資格等

平成27年度は、上記監守者メンバーおよびメンバーが承認した教員による試運転期間とする。（平成28年度から、学内共用予定）

利用の申請

未定

利用料金

未定