| 装置名 （機種） |
３次元光学プロファイラーシステム（Zygo・NewView 7300） |
|---|---|
| 設置年度 （部局） |
平成21年度 |
| 装置の概要 | 微細加工等のプロセスが施された表面や機能性を有する物体表面の３次元形状を走査型白色光干渉技術により非接触で０.１ナノメートルの垂直分解能で高速測定し、測定面の性状を多彩なパラメータにより定量的に解析評価するとともに、その結果を高解像度でカラーグラフィクス表示する。 |
| 装置の仕様 ・特色 |
測定原理：走査型白色干渉法 垂直分解能：0.1nm 垂直測定範囲：150μm 観察視野：0.04x0.03mm?14.14x10.6mm CCD画素：640x480（Max） |
| 設置場所 | コラボレーションセンター1階 微細構造解析室（内8737） |
| 管理責任者 | 機器管理責任者 自然科学研究科（工)教授 藤井正浩（内8035） 監守者 自然科学研究科（工)准教授 大橋一仁（内8041） |
| 利用資格等 | 講習会受講 |
| 利用の申請 | 原則としてWEB予約システムから申込み |
