装置名
（機種）

走査型顕微鏡　VE9800　キーエンス社

設置年度

平成25年度（平成20年度購入）

装置の概要

　光学顕微鏡では観測できない倍率で物質表面の状態が観測できる装置．電子を用いるため，焦点深度が深い．電子線照射から出る特有X線の観測ができるので，元素分析が可能．主に伝導体を対象にしているが，工夫によって絶縁体も観測可能である．

装置の仕様
・特色

倍率１０００００倍までの表面画像が観測可能で，維持管理が容易な反射型電子顕微鏡であり，三次元画像，計測など多様な機能をあわせもつ．

元素分析も，定性，定量分析が可能で，スポット，線，平面分析のオプションがある．

設置場所

コラボレーションセンター棟　３階　３０９　号室

管理責任者

管理責任者
　　　自然科学研究科（理）　小林達生（内7826）
監守者
　　　自然科学研究科（理）　神戸高志（内7829）

利用資格等

使用講習をうけたもの

消耗品　自費

利用の申請

管理責任者に直接申し出る。