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固体表面分析装置(1)

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装置名
(機種)
X線光電子分光分析装置(Fisons Instruments社S-Probe ESCA)
設置年度
(部局)
平成4年度(自然科学研究科)
装置の概要  固体表面の元素の定性・定量と化学結合状態の解明、表面組織の観察と分析を行う。導電体のみならず電気絶縁体の状態分析に適している。内殻軌道遷移のエネルギーと荷電子帯の電子状態が測定出来る。
装置の仕様
・特色
 モノクロメータX線源:Al Kα; X線径≧100μm、深さ方向の分析可
 静電半球型電子エネルギー分析器:〜3000 eV
 帯電中和電子銃:0〜14 eV可変、500 eV固定の2段切換可
 エッチングイオン銃:0.1〜5 keV, 2.5μA 、試料の真空中での破断可能
 試料加熱冷却:-160〜300℃
 真空到達度:5×10-10 Torr
設置場所 自然科学研究科3階 固体表面分析装置室(内8589)
管理責任者 固体表面分析装置運営委員会委員長
   環境理工学部環境物質工学科 難波徳郎(内8895)
利用資格等  利用資格者は、本学の教職員、研究員、大学院学生及びその他運営委員会で認められた者とし、固体表面分析装置室が主催するXPS講習会を受講した者に限る。
利用の申請 予約受付は、利用の2週間前から先着順に行う。
予約連絡先(内8896、環境物質工学科准教授 紅野安彦)

岡山大学自然生命科学研究支援センター 分析計測・極低温部門 分析計測分野 Department of Instrumental Analysis Advanced Science Research Center