装置名 (機種) | X線光電子分光分析装置(Fisons Instruments社S-Probe ESCA) |
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設置年度 (部局) | 平成4年度(自然科学研究科) |
装置の概要 | 固体表面の元素の定性・定量と化学結合状態の解明、表面組織の観察と分析を行う。導電体のみならず電気絶縁体の状態分析に適している。内殻軌道遷移のエネルギーと荷電子帯の電子状態が測定出来る。 |
装置の仕様 ・特色 | モノクロメータX線源:Al Kα; X線径≧100μm、深さ方向の分析可 静電半球型電子エネルギー分析器:〜3000 eV 帯電中和電子銃:0〜14 eV可変、500 eV固定の2段切換可 エッチングイオン銃:0.1〜5 keV, 2.5μA 、試料の真空中での破断可能 試料加熱冷却:-160〜300℃ 真空到達度:5×10-10 Torr |
設置場所 | 自然科学研究科3階 固体表面分析装置室(内8589) |
管理責任者 | 固体表面分析装置運営委員会委員長 環境理工学部環境物質工学科 難波徳郎(内8895) |
利用資格等 | 利用資格者は、本学の教職員、研究員、大学院学生及びその他運営委員会で認められた者とし、固体表面分析装置室が主催するXPS講習会を受講した者に限る。 |
利用の申請 | 予約受付は、利用の2週間前から先着順に行う。 予約連絡先(内8896、環境物質工学科准教授 紅野安彦) |